SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月(yuè)4-6日，广明源将参展(cānzhǎn)2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体展览会，诚邀(chéngyāo)行业伙伴莅临14号馆(hàoguǎn)14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验(shíyàn)模组 新品首发 本次展会，广明源(yuán)将首发(shǒufā)推出自主研发(yánfā)的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为(wèi)半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节设计，具备结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外(zǐwài)黑科技 可高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着性能，为(wèi)封装、清洗等工艺提供稳定(wěndìng)前处理方案。 极简(jíjiǎn)结构，桌面级准分子实验新体验 由于传统准分子光(guāng)辐照器因高纯度 N₂填充(tiánchōng)结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新(chuàngxīn)推出紧凑台式准分子光照射器(shèqì)——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力(zhùlì)高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发需求(xūqiú)。 封装(fēngzhuāng)工艺表面清洁处理 超(chāo)净化超微细清洗工艺验证 172nm 系列全线亮相共襄(gòngxiāng)盛会 除新品(xīnpǐn)发布外，广明源还将展出多款172nm准分子系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗(qīngxǐ)、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化(yōuhuà)与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列(xìliè)光源 172nm准分子(zhǔnfènzǐ)系列模组及设备 SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎半导体制造企业、设备厂商(chǎngshāng)、工艺研发(yánfā)工程师及行业伙伴莅临参观交流，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的(de)多元应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国(zhōngguó)（深圳）国际半导体展览会 时间：2025年6月4-6日(rì) 地点：深圳国际会展中心14号馆(hàoguǎn) （本文来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为(wèi)读者提供更多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方核实或(huò)与本网联系(liánxì)。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）